中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2020 X-Lab 纳米光电子器件课题组
  • 微区光谱仪
  • 微区光谱仪

    • 0.00
      0.00
介绍

在微纳光子学领域中,为了研究微观样品的光谱性能,经常需要将光谱测量系统的空间分辨率提高至μm量级。微区光谱,又称显微光谱,是一种对样品进行μm量级空间分辨的光谱测量方法。一般来说,光谱测量系统的空间分辨能力决定于系统中光斑的大小。对于使用自由光路的光谱测量系统,其光斑约在cm量级,例如大型分光光度计;对于使用光纤的光谱测量系统,其光斑约在mm量级,例如基于光纤光谱仪的反射率测量系统。

本实验室配有集成化微区光谱仪系统,可测量微米级pattern的透射与反射光谱。同时配有波长为980nm和532nm的连续激光光源,可测材料的光致发光光谱。