薄膜沉积设备。利用高温条件下气态反应物之间的化学反应，在基体表面形成固态薄膜。反应物通过载气输送至反应室，在加热的基体表面发生化学反应，生成所需材料，并逐渐沉积成膜。本台设备主要用于生长钙钛矿材料。
