中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2020 X-Lab 纳米光电子器件课题组
结构制备
结构设计
微纳加工

设计理论:通过单元结构和耦合机制创新,定制开发纳米颗粒阵列结构。
加工工艺:开发纳米压印、纳米球自组装等大面积加工方法,以及化学气相沉积等后处理工艺。

纳米激光
光调制
光电探测
光电子器件


光电转换
液态增益
非线性调控
超透镜
薄膜结构
荧光增强
器件设计:构建复合结构阵列,研究复合阵列中光场模式耦合,优化纳米光电子器件结构。
功能器件:研究纳米激光、光调制、光电探测等纳米光电子阵列器件应用。


生化检测
形变传感
气体传感
微纳传感


气体/生化传感:通过高品质表面晶格共振将环境折射率变化转化成光谱的变化,实现高灵敏气体和生化检测。
形变/力学传感:通过阵列结构与表面晶格共振峰关系,构建阵列形变和光谱变化对应,实现高精度形变/力学探测。