中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2020 X-Lab 纳米光电子器件课题组
  • 等离子体清洗机
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介绍

等离子清洗机是一种用等离子体清洁材料表面的设备。通过较高的电压或高频电场将气体(如氩气,氧气)放电产生等离子体。

产生的等离子体通过喷射或漂移到达待清洗的表面上,与表面的有机污染物,氧化物或其他杂志反应,导致这些污染分子的解离,氧化或去除,进而清洁表面