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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2020 X-Lab 纳米光电子器件课题组
  • 电子束蒸发系统

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介绍

电子束蒸发是一种物理气相沉积（PVD）技术，其原理是利用高能电子束轰击材料表面，将材料加热至蒸发状态，然后在高真空环境中沉积在基板上形成薄膜。